F2レ-ザ-リソグラフイ-用コヒ-レントVUV光源の開発

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Material Type: 図書
Title: F2レ-ザ-リソグラフイ-用コヒ-レントVUV光源の開発
Title Transcription: F2 レ-ザ-リソグラフイ-ヨウコヒ-レント VUV コウゲンノカイハツ
Author/Editor: 渡部, 俊太郎, 東京大学
Author Heading: 渡部, 俊太郎ワタナベ, シユンタロウ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: リソグラフイ- リソグラフイ-
F_2レ-ザ- F_2レ-ザ-
チタンサフアイアレ-ザ- チタンサフアイアレ-ザ-
2光子共鳴4光波混合 2コウシキヨウメイ4コウハコンゴウ
157nm光源 157NMコウゲン
KBBF KBBF
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555010
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555010
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007088067
http://id.ndl.go.jp/bib/000007088067
Bibliographic Record Category (NDL): 214