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レ-ザによる直接描画法を利用した光センサの試作

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レ-ザによる直接描画法を利用した光センサの試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H13555032
国立国会図書館書誌ID
000007088077
資料種別
図書
著者
戸倉, 和, 東京工業大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
レ-ザ ニ ヨル チョクセツ ビョウガホウ オ リヨウ シタ ヒカリ センサ ノ シサク
著者・編者
戸倉, 和, 東京工業大学
著者標目
戸倉, 和 トクラ, ヒトシ
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
レ-ザ レ-ザ
ガラス ガラス
電子回路 デンシカイロ
堆積 タイセキ
機能表面 キノウヒヨウメン
マスクレス マスクレス