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レ-ザによる直接描画法を利用した光センサの試作

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レ-ザによる直接描画法を利用した光センサの試作

Call No. (NDL)
Y151-H13555032
Bibliographic ID of National Diet Library
000007088077
Material type
図書
Author
戸倉, 和, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
レ-ザ ニ ヨル チョクセツ ビョウガホウ オ リヨウ シタ ヒカリ センサ ノ シサク
Author/Editor
戸倉, 和, 東京工業大学
Author Heading
戸倉, 和 トクラ, ヒトシ
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
レ-ザ レ-ザ
ガラス ガラス
電子回路 デンシカイロ
堆積 タイセキ
機能表面 キノウヒヨウメン
マスクレス マスクレス