圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム

• 資料種別: 図書
• タイトル: 圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム
• タイトルよみ: アツデン ケンシュツ ・ クドウガタ ダイヤモンドマルチプロ-ブ オ トウサイ シタ ジセダイ ナノ カコウ ・ ケイソク システム
• 著者・編者: 柴田, 隆行, 茨城大学
• 著者標目: 著者 ： 柴田, 隆行 シバタ, タカユキ ( 001134306 )典拠
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 次世代ナノ加工・計測システム ジセダイナノカコウ・ケイソクシステム; ナノリソグラフイ- ナノリソグラフイ-; 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; AFMプロ-ブ AFMプロ-ブ; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; PZT薄膜 PZTハクマク; アクチユエ-タ アクチユエ-タ; センサ センサ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13555068
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13555068
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007088097; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088097
• 整理区分コード: 214