圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム

• Material Type: 図書
• Title: 圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム
• Title Transcription: アツデン ケンシュツ ・ クドウガタ ダイヤモンドマルチプロ-ブ オ トウサイ シタ ジセダイ ナノ カコウ ・ ケイソク システム
• Author/Editor: 柴田, 隆行, 茨城大学
• Author Heading: 著者 ： 柴田, 隆行 シバタ, タカユキ ( 001134306 )Authorities
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 次世代ナノ加工・計測システム ジセダイナノカコウ・ケイソクシステム; ナノリソグラフイ- ナノリソグラフイ-; 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; AFMプロ-ブ AFMプロ-ブ; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; PZT薄膜 PZTハクマク; アクチユエ-タ アクチユエ-タ; センサ センサ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555068
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13555068
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007088097; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088097
• Bibliographic Record Category (NDL): 214