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SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究

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SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H13555086
国立国会図書館書誌ID
000007088104
資料種別
図書
著者
宇佐美, 徳隆, 東北大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
SiGe コンショウキバン オ リヨウ シタ ヒズミ セイギョ Si ケイ コウキノウ デンシ デバイス ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
宇佐美, 徳隆, 東北大学
著者標目
著者 : 宇佐美, 徳隆 ウサミ, ノリタカ ( 01201374 )典拠
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリコンゲルマニウム シリコンゲルマニウム
分子線エピタキシ-法 ブンシセンエピタキシ-ホウ
溶質元素補給ゾ-ン成長法 ヨウシツゲンソホキユウゾ-ンセイチヨウホウ
歪み制御薄膜 ヒズミセイギヨハクマク
変調ド-ピング構造 ヘンチヨウド-ピングコウゾウ
二次元正孔ガス 2ジゲンセイコウガス