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SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究

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SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H13555086
Bibliographic ID of National Diet Library
000007088104
Material type
図書
Author
宇佐美, 徳隆, 東北大学
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
SiGe コンショウキバン オ リヨウ シタ ヒズミ セイギョ Si ケイ コウキノウ デンシ デバイス ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
宇佐美, 徳隆, 東北大学
Author Heading
著者 : 宇佐美, 徳隆 ウサミ, ノリタカ ( 01201374 )Authorities
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シリコンゲルマニウム シリコンゲルマニウム
分子線エピタキシ-法 ブンシセンエピタキシ-ホウ
溶質元素補給ゾ-ン成長法 ヨウシツゲンソホキユウゾ-ンセイチヨウホウ
歪み制御薄膜 ヒズミセイギヨハクマク
変調ド-ピング構造 ヘンチヨウド-ピングコウゾウ
二次元正孔ガス 2ジゲンセイコウガス