強誘電体及び電極薄膜の低温MOCVD成長と超高集積立体構造メモリへの応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 強誘電体及び電極薄膜の低温MOCVD成長と超高集積立体構造メモリへの応用
• タイトルよみ: キョウ ユウデンタイ オヨビ デンキョク ハクマク ノ テイオン MOCVD セイチョウ ト チョウコウシュウセキ リッタイ コウゾウ メモリ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 清水, 勝, 姫路工業大学
• 著者標目: 清水, 勝 シミズ, マサル
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 低温成長 テイオンセイチヨウ; NOCVD法 NOCVDホウ; Pb (Zr, Ti) O_3 (PZT) 薄膜 PB (ZR, TI) O_3 (PZT) ハクマク; 強誘電体薄膜メモリ キヨウユウデンタイハクマクメモリ; 段差被膜性 ダンサヒマクセイ; PZTキヤパシタ PZTキヤパシタ; 立体構造キヤパシタ リツタイコウゾウキヤパシタ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13555097
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13555097
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007088110; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088110
• 整理区分コード: 214