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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- キョウ ユウデンタイ オヨビ デンキョク ハクマク ノ テイオン MOCVD セイチョウ ト チョウコウシュウセキ リッタイ コウゾウ メモリ ヘ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 清水, 勝, 姫路工業大学
- 著者標目
- 清水, 勝 シミズ, マサル
- 出版年月日等
- 2001-2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2001
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 低温成長 テイオンセイチヨウNOCVD法 NOCVDホウPb (Zr, Ti) O_3 (PZT) 薄膜 PB (ZR, TI) O_3 (PZT) ハクマク強誘電体薄膜メモリ キヨウユウデンタイハクマクメモリ段差被膜性 ダンサヒマクセイPZTキヤパシタ PZTキヤパシタ立体構造キヤパシタ リツタイコウゾウキヤパシタ
- NDLC
- 一般注記
- 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
- 科研費課題番号
- 13555097
- 所蔵機関
- 国立国会図書館
- 請求記号
- Y151-H13555097
- 連携機関・データベース
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
- 書誌ID（NDLBibID）
- 000007088110
- 整理区分コード
- 214