強誘電体及び電極薄膜の低温MOCVD成長と超高集積立体構造メモリへの応用

• Material Type: 図書
• Title: 強誘電体及び電極薄膜の低温MOCVD成長と超高集積立体構造メモリへの応用
• Title Transcription: キョウ ユウデンタイ オヨビ デンキョク ハクマク ノ テイオン MOCVD セイチョウ ト チョウコウシュウセキ リッタイ コウゾウ メモリ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 清水, 勝, 姫路工業大学
• Author Heading: 清水, 勝 シミズ, マサル
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 低温成長 テイオンセイチヨウ; NOCVD法 NOCVDホウ; Pb (Zr, Ti) O_3 (PZT) 薄膜 PB (ZR, TI) O_3 (PZT) ハクマク; 強誘電体薄膜メモリ キヨウユウデンタイハクマクメモリ; 段差被膜性 ダンサヒマクセイ; PZTキヤパシタ PZTキヤパシタ; 立体構造キヤパシタ リツタイコウゾウキヤパシタ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555097
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13555097
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007088110; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088110
• Bibliographic Record Category (NDL): 214