プラズマCVDおよび大気圧プラズマによるフツ化物ガラス薄膜光導波回路素子の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマCVDおよび大気圧プラズマによるフツ化物ガラス薄膜光導波回路素子の開発
• タイトルよみ: プラズマ CVD オヨビ タイキアツ プラズマ ニ ヨル フツカブツ ガラス ハクマク ヒカリドウハ カイロ ソシ ノ カイハツ
• 著者・編者: 河本, 洋二, 神戸大学
• 著者標目: 河本, 洋二 カワモト, ヨウジ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: ガラス ガラス; 薄膜 ハクマク; プラズマCVD プラズマCVD; 大気圧プラズ タイキアツプラズ; 光導波回路 ヒカリヒカリドウハカイロ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13555174
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13555174
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007088142; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088142
• 整理区分コード: 214