プラズマCVDおよび大気圧プラズマによるフツ化物ガラス薄膜光導波回路素子の開発

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Material Type: 図書
Title: プラズマCVDおよび大気圧プラズマによるフツ化物ガラス薄膜光導波回路素子の開発
Title Transcription: プラズマ CVD オヨビタイキアツプラズマニヨルフツカブツガラスハクマクヒカリドウハカイロソシノカイハツ
Author/Editor: 河本, 洋二, 神戸大学
Author Heading: 河本, 洋二カワモト, ヨウジ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: ガラスガラス
薄膜ハクマク
プラズマCVD プラズマCVD
大気圧プラズタイキアツプラズ
光導波回路ヒカリヒカリドウハカイロ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555174
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555174
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007088142
http://id.ndl.go.jp/bib/000007088142
Bibliographic Record Category (NDL): 214