マイクロ波-レ-ザ計測技術の開発とシリコンウエ-ハの局所的導電率の非接触計測

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロ波-レ-ザ計測技術の開発とシリコンウエ-ハの局所的導電率の非接触計測
• タイトルよみ: マイクロハ-レ-ザ ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ト シリコンウエ-ハ ノ キョクショテキ ドウデンリツ ノ ヒセッショク ケイソク
• 著者・編者: 巨, 陽 (Ju, Yang) , 東北大学
• 著者標目: 著者 ： 巨, 陽 キョ, ヨウ ( 01171850 )典拠
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: マイクロ波 マイクロハ; レ-ザ レ-ザ; シリコンウエ-ハ シリコンウエ-ハ; 導電率 ドウデンリツ; 電気光学効果 デンキコウガクコウカ; 定量計測 テイリヨウケイソク; 非接触 ヒセツシヨク; 高分解能 コウブンカイノウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13555192
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13555192
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007088150; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088150
• 整理区分コード: 214