マイクロ波-レ-ザ計測技術の開発とシリコンウエ-ハの局所的導電率の非接触計測

• Material Type: 図書
• Title: マイクロ波-レ-ザ計測技術の開発とシリコンウエ-ハの局所的導電率の非接触計測
• Title Transcription: マイクロハ-レ-ザ ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ト シリコンウエ-ハ ノ キョクショテキ ドウデンリツ ノ ヒセッショク ケイソク
• Author/Editor: 巨, 陽 (Ju, Yang) , 東北大学
• Author Heading: 著者 ： 巨, 陽 キョ, ヨウ ( 01171850 )Authorities
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: マイクロ波 マイクロハ; レ-ザ レ-ザ; シリコンウエ-ハ シリコンウエ-ハ; 導電率 ドウデンリツ; 電気光学効果 デンキコウガクコウカ; 定量計測 テイリヨウケイソク; 非接触 ヒセツシヨク; 高分解能 コウブンカイノウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555192
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13555192
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007088150; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088150
• Bibliographic Record Category (NDL): 214