有機金属分子イオンビ-ム技術の高度化とSiCヘテロエピ成膜への応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 有機金属分子イオンビ-ム技術の高度化とSiCヘテロエピ成膜への応用
• タイトルよみ: ユウキ キンゾク ブンシ イオンビ-ム ギジュツ ノ コウドカ ト SiC ヘテロエピセイマク ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 後藤, 誠一, 大阪大学
• 著者標目: 後藤, 誠一 ゴトウ, セイイチ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: SiC SIC; 有機金属分子イオンビ-ム ユウキキンゾクブンシイオンビ-ム; メチルシリセニウムイオン メチルシリセニウムイオン; ヘテロエピタキシヤル成長 ヘテロエピタキシヤルセイチヨウ; 高速中性粒子 コウソクチユウセイリユウシ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13558055
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13558055
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007088299; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088299
• 整理区分コード: 214