有機金属分子イオンビ-ム技術の高度化とSiCヘテロエピ成膜への応用

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Material Type: 図書
Title: 有機金属分子イオンビ-ム技術の高度化とSiCヘテロエピ成膜への応用
Title Transcription: ユウキキンゾクブンシイオンビ-ムギジュツノコウドカト SiC ヘテロエピセイマクヘノオウヨウ
Author/Editor: 後藤, 誠一, 大阪大学
Author Heading: 後藤, 誠一ゴトウ, セイイチ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: SiC SIC
有機金属分子イオンビ-ムユウキキンゾクブンシイオンビ-ム
メチルシリセニウムイオンメチルシリセニウムイオン
ヘテロエピタキシヤル成長ヘテロエピタキシヤルセイチヨウ
高速中性粒子コウソクチユウセイリユウシ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13558055
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13558055
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007088299
http://id.ndl.go.jp/bib/000007088299
Bibliographic Record Category (NDL): 214