Si系歪みヘテロ構造用擬似基板形成およびこれを用いた超高移動度FETに関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: Si系歪みヘテロ構造用擬似基板形成およびこれを用いた超高移動度FETに関する研究
• タイトルよみ: Si ケイ ヒズミ ヘテロ コウゾウヨウ ギジ キバン ケイセイ オヨビ コレ オ モチイタ チョウコウイドウド FET ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 中川, 清和, 山梨大学
• 著者標目: 中川, 清和 ナカガワ, キヨカズ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: Si系歪みヘテロ構造 SIケイヒズミヘテロコウゾウ; 擬似基 ギジキ; 超高移動度FET チヨウコウイドウドFET; 科学機械研磨法 カガクキカイケンマホウ; イオン注入 イオンチユウニユウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650007
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650007
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089054; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089054
• 整理区分コード: 214