Si系歪みヘテロ構造用擬似基板形成およびこれを用いた超高移動度FETに関する研究

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Material Type: 図書
Title: Si系歪みヘテロ構造用擬似基板形成およびこれを用いた超高移動度FETに関する研究
Title Transcription: Si ケイヒズミヘテロコウゾウヨウギジキバンケイセイオヨビコレオモチイタチョウコウイドウド FET ニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中川, 清和, 山梨大学
Author Heading: 中川, 清和ナカガワ, キヨカズ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: Si系歪みヘテロ構造 SIケイヒズミヘテロコウゾウ
擬似基ギジキ
超高移動度FET チヨウコウイドウドFET
科学機械研磨法カガクキカイケンマホウ
イオン注入イオンチユウニユウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650007
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650007
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007089054
http://id.ndl.go.jp/bib/000007089054
Bibliographic Record Category (NDL): 214