固体炭素源を用いた2源スパツタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長

• 資料種別: 図書
• タイトル: 固体炭素源を用いた2源スパツタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長
• タイトルよみ: コタイ タンソゲン オ モチイタ 2 ゲン スパツタリングホウ ニ ヨル コウシツ タンカブツ ハクマク ノ コウソク セイチョウ
• 著者・編者: 井上, 尚三, 姫路工業大学
• 著者標目: 井上, 尚三 イノウエ, ショウゾウ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: TiC TIC; 炭化物薄膜 タンカブツハクマク; スパツタリング スパツタリング; 多層薄膜 タソウハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650097
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650097
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089112; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089112
• 整理区分コード: 214