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固体炭素源を用いた2源スパツタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長

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固体炭素源を用いた2源スパツタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長

Call No. (NDL)
Y151-H13650097
Bibliographic ID of National Diet Library
000007089112
Material type
図書
Author
井上, 尚三, 姫路工業大学
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コタイ タンソゲン オ モチイタ 2 ゲン スパツタリングホウ ニ ヨル コウシツ タンカブツ ハクマク ノ コウソク セイチョウ
Author/Editor
井上, 尚三, 姫路工業大学
Author Heading
井上, 尚三 イノウエ, ショウゾウ
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
TiC TIC
炭化物薄膜 タンカブツハクマク
スパツタリング スパツタリング
多層薄膜 タソウハクマク