球面半導体用単結晶シリコン微小ボ-ルの精密加工

• 資料種別: 図書
• タイトル: 球面半導体用単結晶シリコン微小ボ-ルの精密加工
• タイトルよみ: キュウメン ハンドウタイヨウタンケッショウ シリコン ビショウ ボ-ル ノ セイミツ カコウ
• 著者・編者: 柴田, 順二, 芝浦工業大学
• 著者標目: 柴田, 順二 シバタ, ジュンジ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 研磨加工 ケンマカコウ; 研磨スラリ- ケンマスラリ-; ゾルゲル法 ゾルゲルホウ; 球研磨 キユウケンマ; 真球度 シンキユウド; シリカ粒子 シリカリユウシ; CMP CMP; カツプ研磨方式 カツプケンマホウシキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650130
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650130
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089132; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089132
• 整理区分コード: 214