球面半導体用単結晶シリコン微小ボ-ルの精密加工

• Material Type: 図書
• Title: 球面半導体用単結晶シリコン微小ボ-ルの精密加工
• Title Transcription: キュウメン ハンドウタイヨウタンケッショウ シリコン ビショウ ボ-ル ノ セイミツ カコウ
• Author/Editor: 柴田, 順二, 芝浦工業大学
• Author Heading: 柴田, 順二 シバタ, ジュンジ
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 研磨加工 ケンマカコウ; 研磨スラリ- ケンマスラリ-; ゾルゲル法 ゾルゲルホウ; 球研磨 キユウケンマ; 真球度 シンキユウド; シリカ粒子 シリカリユウシ; CMP CMP; カツプ研磨方式 カツプケンマホウシキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650130
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13650130
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007089132; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089132
• Bibliographic Record Category (NDL): 214