ITデバイス用レ-ザ精密微細加工システム

• 資料種別: 図書
• タイトル: ITデバイス用レ-ザ精密微細加工システム
• タイトルよみ: IT デバイスヨウ レ-ザ セイミツ ビサイ カコウ システム
• 著者・編者: 宮本, 勇, 大阪大学
• 著者標目: 宮本, 勇 ミヤモト, イサム
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: レ-ザ加工 レ-ザカコウ; 精密微細加工 セイミツビサイカコウ; 電子デバイス デンシデバイス; モニタリング モニタリング; シミユレ-シヨン シミユレ-シヨン; 分子動力学 ブンシドウリキガク; 超短パルスレ-ザ チヨウタンパルスレ-ザ; 非線形光学 ヒセンケイコウガク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650280
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650280
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089244; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089244
• 整理区分コード: 214