ITデバイス用レ-ザ精密微細加工システム

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Material Type: 図書
Title: ITデバイス用レ-ザ精密微細加工システム
Title Transcription: IT デバイスヨウレ-ザセイミツビサイカコウシステム
Author/Editor: 宮本, 勇, 大阪大学
Author Heading: 宮本, 勇ミヤモト, イサム
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: レ-ザ加工レ-ザカコウ
精密微細加工セイミツビサイカコウ
電子デバイスデンシデバイス
モニタリングモニタリング
シミユレ-シヨンシミユレ-シヨン
分子動力学ブンシドウリキガク
超短パルスレ-ザチヨウタンパルスレ-ザ
非線形光学ヒセンケイコウガク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650280
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650280
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007089244
http://id.ndl.go.jp/bib/000007089244
Bibliographic Record Category (NDL): 214