タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価
• タイトルよみ: タンタルケイコヨウタイ ゴウキン ノ ヨウキョク サンカマク ニ ヨル ハクマク コンデンサ ノ サクセイ ト ソノ シンライセイ ノ ヒョウカ
• 著者・編者: 佐々木, 克孝, 北見工業大学
• 著者標目: 佐々木, 克孝 ササキ, カツタカ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 陽極酸化膜キヤパシタ ヨウキヨクサンカマクキヤパシタ; Ta-Zr合金膜 TA-ZRゴウキンマク; 高誘電率化 コウユウデンリツカ; 耐熱性 タイネツセイ; 低損失特性 テイソンシツトクセイ; 漏れ電流特性 モレデンリユウトクセイ; Schottky伝導 SCHOTTKYデンドウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650329
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650329
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089274; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089274
• 整理区分コード: 214