タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価

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Material Type: 図書
Title: タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価
Title Transcription: タンタルケイコヨウタイゴウキンノヨウキョクサンカマクニヨルハクマクコンデンサノサクセイトソノシンライセイノヒョウカ
Author/Editor: 佐々木, 克孝, 北見工業大学
Author Heading: 佐々木, 克孝ササキ, カツタカ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 陽極酸化膜キヤパシタヨウキヨクサンカマクキヤパシタ
Ta-Zr合金膜 TA-ZRゴウキンマク
高誘電率化コウユウデンリツカ
耐熱性タイネツセイ
低損失特性テイソンシツトクセイ
漏れ電流特性モレデンリユウトクセイ
Schottky伝導 SCHOTTKYデンドウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650329
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650329
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007089274
http://id.ndl.go.jp/bib/000007089274
Bibliographic Record Category (NDL): 214