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強磁性強誘電性酸化物スパツタ薄膜の物性発現機構と電子薄膜デバイスへの応用

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強磁性強誘電性酸化物スパツタ薄膜の物性発現機構と電子薄膜デバイスへの応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H13650364
国立国会図書館書誌ID
000007089302
資料種別
図書
著者
加島, 篤, 北九州工業高等専門学校
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
キョウジセイ キョウ ユウデンセイ サンカブツ スパツタ ハクマク ノ ブッセイ ハツゲン キコウ ト デンシ ハクマク デバイス ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
加島, 篤, 北九州工業高等専門学校
著者標目
加島, 篤 カジマ, アツシ
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
酸化物磁性薄膜 サンカブツジセイハクマク
反応スパツタリング ハンノウスパツタリング
誘電率 ユウデンリツ