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強磁性強誘電性酸化物スパツタ薄膜の物性発現機構と電子薄膜デバイスへの応用

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強磁性強誘電性酸化物スパツタ薄膜の物性発現機構と電子薄膜デバイスへの応用

Call No. (NDL)
Y151-H13650364
Bibliographic ID of National Diet Library
000007089302
Material type
図書
Author
加島, 篤, 北九州工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キョウジセイ キョウ ユウデンセイ サンカブツ スパツタ ハクマク ノ ブッセイ ハツゲン キコウ ト デンシ ハクマク デバイス ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
加島, 篤, 北九州工業高等専門学校
Author Heading
加島, 篤 カジマ, アツシ
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
酸化物磁性薄膜 サンカブツジセイハクマク
反応スパツタリング ハンノウスパツタリング
誘電率 ユウデンリツ