反応性イオンエツチングによる基板への三次元微細構造の増幅転写技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 反応性イオンエツチングによる基板への三次元微細構造の増幅転写技術の開発
• タイトルよみ: ハンノウセイ イオンエツチング ニ ヨル キバン ヘ ノ サンジゲン ビサイ コウゾウ ノ ゾウフク テンシャ ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 伊藤, 和男, 群馬大学
• 著者標目: 伊藤, 和男 イトウ, カズオ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 反応性イオンエツチング ハンノウセイイオンエツチング; 電子線リソグラフイ デンシセンリソグラフイ; 三次元形状 3ジゲンケイジヨウ; パタ-ン転写 パタ-ンテンシヤ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650368
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650368
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089306; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089306
• 整理区分コード: 214