Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ハンノウセイ イオンエツチング ニ ヨル キバン ヘ ノ サンジゲン ビサイ コウゾウ ノ ゾウフク テンシャ ギジュツ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 伊藤, 和男, 群馬大学
- Author Heading
- 伊藤, 和男 イトウ, カズオ
- Publication Date
- 2001-2002
- Publication Date (W3CDTF)
- 2001
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 反応性イオンエツチング ハンノウセイイオンエツチング電子線リソグラフイ デンシセンリソグラフイ三次元形状 3ジゲンケイジヨウパタ-ン転写 パタ-ンテンシヤ