反応性イオンエツチングによる基板への三次元微細構造の増幅転写技術の開発

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Material Type: 図書
Title: 反応性イオンエツチングによる基板への三次元微細構造の増幅転写技術の開発
Title Transcription: ハンノウセイイオンエツチングニヨルキバンヘノサンジゲンビサイコウゾウノゾウフクテンシャギジュツノカイハツ
Author/Editor: 伊藤, 和男, 群馬大学
Author Heading: 伊藤, 和男イトウ, カズオ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 反応性イオンエツチングハンノウセイイオンエツチング
電子線リソグラフイデンシセンリソグラフイ
三次元形状 3ジゲンケイジヨウ
パタ-ン転写パタ-ンテンシヤ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650368
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650368
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007089306
http://id.ndl.go.jp/bib/000007089306
Bibliographic Record Category (NDL): 214