マルチ・マイクロコラムを用いた電子ビ-ム描画装置の電子光学

• 資料種別: 図書
• タイトル: マルチ・マイクロコラムを用いた電子ビ-ム描画装置の電子光学
• タイトルよみ: マルチ ・ マイクロコラム オ モチイタ デンシ ビ-ム ビョウガ ソウチ ノ デンシ コウガク
• 著者・編者: 鷹岡, 昭夫, 大阪大学
• 著者標目: 鷹岡, 昭夫 タカオカ, アキオ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 電子ビ-ム デンシビ-ム; リソグラフイ- リソグラフイ-; 電磁界解析 デンジカイカイセキ; 軌道解析 キドウカイセキ; マルチビ-ム マルチビ-ム; シミユレ-シヨン シミユレ-シヨン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650377
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650377
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089310; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089310
• 整理区分コード: 214