マルチ・マイクロコラムを用いた電子ビ-ム描画装置の電子光学

• Material Type: 図書
• Title: マルチ・マイクロコラムを用いた電子ビ-ム描画装置の電子光学
• Title Transcription: マルチ ・ マイクロコラム オ モチイタ デンシ ビ-ム ビョウガ ソウチ ノ デンシ コウガク
• Author/Editor: 鷹岡, 昭夫, 大阪大学
• Author Heading: 鷹岡, 昭夫 タカオカ, アキオ
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 電子ビ-ム デンシビ-ム; リソグラフイ- リソグラフイ-; 電磁界解析 デンジカイカイセキ; 軌道解析 キドウカイセキ; マルチビ-ム マルチビ-ム; シミユレ-シヨン シミユレ-シヨン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650377
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13650377
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007089310; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089310
• Bibliographic Record Category (NDL): 214