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マイクロマシンのための高性能トライボ材料の創製

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マイクロマシンのための高性能トライボ材料の創製

国立国会図書館請求記号
Y151-H13650766
国立国会図書館書誌ID
000007089543
資料種別
図書
著者
高木, 誠, 愛知工業大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロマシン ノ タメ ノ コウセイノウ トライボ ザイリョウ ノ ソウセイ
著者・編者
高木, 誠, 愛知工業大学
著者標目
高木, 誠 タカギ, マコト
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
マイクロトライボロジ- マイクロトライボロジ-
走査プロ-ブ顕微鏡 ソウサプロ-ブケンビキヨウ
金属ガラス キンゾクガラス
非平衡材料 ヒヘイコウザイリヨウ
シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ
硬質薄膜 コウシツハクマク
マイクロマシン マイクロマシン