マイクロマシンのための高性能トライボ材料の創製

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Material Type: 図書
Title: マイクロマシンのための高性能トライボ材料の創製
Title Transcription: マイクロマシンノタメノコウセイノウトライボザイリョウノソウセイ
Author/Editor: 高木, 誠, 愛知工業大学
Author Heading: 高木, 誠タカギ, マコト
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: マイクロトライボロジ- マイクロトライボロジ-
走査プロ-ブ顕微鏡ソウサプロ-ブケンビキヨウ
金属ガラスキンゾクガラス
非平衡材料ヒヘイコウザイリヨウ
シリコン単結晶シリコンタンケツシヨウ
硬質薄膜コウシツハクマク
マイクロマシンマイクロマシン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650766
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650766
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007089543
http://id.ndl.go.jp/bib/000007089543
Bibliographic Record Category (NDL): 214