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窒化炭素薄膜の創製素過程におよぼす低エネルギ-イオンの照射効果

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窒化炭素薄膜の創製素過程におよぼす低エネルギ-イオンの照射効果

国立国会図書館請求記号
Y151-H13650786
国立国会図書館書誌ID
000007089554
資料種別
図書
著者
上條, 榮治, 龍谷大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チッカ タンソ ハクマク ノ ソウセイソ カテイ ニ オヨボス テイエネルギ-イオン ノ ショウシャ コウカ
著者・編者
上條, 榮治, 龍谷大学
著者標目
著者 : 上條, 榮治, 1935- カミジョウ, エイジ, 1935- ( 00877928 )典拠
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
窒素炭素 チツソタンソ
薄膜 ハクマク
電子サイクロトロン共鳴 デンシサイクロトロンキヨウメイ
スパツタ スパツタ
基板電位 キバンデンイ
N/C原子比 N/Cゲンシヒ
(N-sp^3C) / (N-sp^3C) 比 (N-SP^3C) / (N-SP^3C) ヒ