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窒化炭素薄膜の創製素過程におよぼす低エネルギ-イオンの照射効果

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窒化炭素薄膜の創製素過程におよぼす低エネルギ-イオンの照射効果

Call No. (NDL)
Y151-H13650786
Bibliographic ID of National Diet Library
000007089554
Material type
図書
Author
上條, 榮治, 龍谷大学
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チッカ タンソ ハクマク ノ ソウセイソ カテイ ニ オヨボス テイエネルギ-イオン ノ ショウシャ コウカ
Author/Editor
上條, 榮治, 龍谷大学
Author Heading
著者 : 上條, 榮治, 1935- カミジョウ, エイジ, 1935- ( 00877928 )Authorities
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
窒素炭素 チツソタンソ
薄膜 ハクマク
電子サイクロトロン共鳴 デンシサイクロトロンキヨウメイ
スパツタ スパツタ
基板電位 キバンデンイ
N/C原子比 N/Cゲンシヒ
(N-sp^3C) / (N-sp^3C) 比 (N-SP^3C) / (N-SP^3C) ヒ