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プラズマイオン注入における表面改質とイオン・中性ラジカルの挙動

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プラズマイオン注入における表面改質とイオン・中性ラジカルの挙動

国立国会図書館請求記号
Y151-H13680564
国立国会図書館書誌ID
000007091660
資料種別
図書
著者
中村, 圭二, 中部大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
プラズマイオン チュウニュウ ニ オケル ヒョウメン カイシツ ト イオン ・ チュウセイ ラジカル ノ キョドウ
著者・編者
中村, 圭二, 中部大学
著者標目
中村, 圭二 ナカムラ, ケイジ
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
プラズマイオン注入 プラズマイオンチユウニユウ
二次電子 ニジデンシ
二次電子放出係数 ニジデンシホウシユツケイスウ
注入深さ チユウニユウフカサ
表面モニタ ヒヨウメンモニタ
半導体検出器 ハンドウタイケンシユツキ