プラズマイオン注入における表面改質とイオン・中性ラジカルの挙動

• Material Type: 図書
• Title: プラズマイオン注入における表面改質とイオン・中性ラジカルの挙動
• Title Transcription: プラズマイオン チュウニュウ ニ オケル ヒョウメン カイシツ ト イオン ・ チュウセイ ラジカル ノ キョドウ
• Author/Editor: 中村, 圭二, 中部大学
• Author Heading: 中村, 圭二 ナカムラ, ケイジ
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: プラズマイオン注入 プラズマイオンチユウニユウ; 二次電子 ニジデンシ; 二次電子放出係数 ニジデンシホウシユツケイスウ; 注入深さ チユウニユウフカサ; 表面モニタ ヒヨウメンモニタ; 半導体検出器 ハンドウタイケンシユツキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13680564
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13680564
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007091660; http://id.ndl.go.jp/bib/000007091660
• Bibliographic Record Category (NDL): 214