プラズマイオン注入における表面改質とイオン・中性ラジカルの挙動

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Material Type: 図書
Title: プラズマイオン注入における表面改質とイオン・中性ラジカルの挙動
Title Transcription: プラズマイオンチュウニュウニオケルヒョウメンカイシツトイオン・チュウセイラジカルノキョドウ
Author/Editor: 中村, 圭二, 中部大学
Author Heading: 中村, 圭二ナカムラ, ケイジ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: プラズマイオン注入プラズマイオンチユウニユウ
二次電子ニジデンシ
二次電子放出係数ニジデンシホウシユツケイスウ
注入深さチユウニユウフカサ
表面モニタヒヨウメンモニタ
半導体検出器ハンドウタイケンシユツキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13680564
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13680564
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007091660
http://id.ndl.go.jp/bib/000007091660
Bibliographic Record Category (NDL): 214