Cleaning technology in semiconductor device manufacturing 8 : proceedings of the international symposium. : 8th international symposium on cleaning technology in semiconductor device manufacturing : fall meeting of the Electrochemical Society : ECS cleaning symposium : Oct 2003, Orlando, FL.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 156677411X
• タイトル: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing 8 : proceedings of the international symposium. : 8th international symposium on cleaning technology in semiconductor device manufacturing : fall meeting of the Electrochemical Society : ECS cleaning symposium : Oct 2003, Orlando, FL.
• シリーズタイトル: PV ; 2003-26
• タイトル標目: Proceedings (Electrochemical Society) v. 2003-26.
• 著者標目: Rużyłło, Jerzy.; Electrochemical Society. Meeting (2003 : Orlando, Fla.); International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing (8th : 2003 : Orlando, Florida)
• 出版事項: Pennington : Electrochemical Society
• 出版年月日等: c2004.
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: xi, 436 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Semiconductor wafers -- Cleaning -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographic references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-04-2362
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007377785; http://id.ndl.go.jp/bib/000007377785
• LC control number: 2004101827; https://lccn.loc.gov/2004101827
• RLIN番号: MOHG54975621-B
• 整理区分コード: 215