Measurement of position and orientation of a positioning stage by multidirectional interferometers

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Measurement of position and orientation of a positioning stage by multidirectional interferometers
• 著者・編者: Jie Zhang [著]
• 著者標目: 張, [チェ] チョウ, チェ
• 出版事項: [Jie Zhang]
• 出版年月日等: 2004
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 多方向干渉計による位置決めステージの位置・姿勢測定法 タホウコウ カンショウケイ ニ ヨル イチギメ ステージ ノ イチ シセイ ソクテイホウ
• 授与機関名: 大阪府立大学
• 授与年月日: 平成16年2月29日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2004
• 報告番号: 甲第855号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: Zhang, Jie
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-C908
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007379030; http://id.ndl.go.jp/bib/000007379030
• 整理区分コード: 213