Measurement of position and orientation of a positioning stage by multidirectional interferometers

• Material Type: 博士論文
• Title: Measurement of position and orientation of a positioning stage by multidirectional interferometers
• Author/Editor: Jie Zhang [著]
• Author Heading: 張, [チェ] チョウ, チェ
• Publication, Distribution, etc.: [Jie Zhang]
• Publication Date: 2004
• Publication Date (W3CDTF): 2004
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 多方向干渉計による位置決めステージの位置・姿勢測定法 タホウコウ カンショウケイ ニ ヨル イチギメ ステージ ノ イチ シセイ ソクテイホウ
• Degree grantor/type: 大阪府立大学
• Date Granted: 平成16年2月29日
• Date Granted (W3CDTF): 2004
• Dissertation Number: 甲第855号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Zhang, Jie
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-C908
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007379030; http://id.ndl.go.jp/bib/000007379030
• Bibliographic Record Category (NDL): 213