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マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現 (ポリマーフロンティア21シリーズ ; no.22)

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マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現

(ポリマーフロンティア21シリーズ ; no.22)

国立国会図書館請求記号
ND354-H22
国立国会図書館書誌ID
000007410774
資料種別
図書
著者
高分子学会 編
出版者
エヌ・ティー・エス
出版年
2004.7
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
227, 6p ; 27cm
NDC
549
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資料詳細

内容細目：

ULSIの将来展望と高分子材料への期待 / 角南英夫 著層間絶縁膜用低誘電率ボラジン-ケイ素ポリマーの開発 / 井上正巳 著エレクトロニクス用感光性耐熱ポリマーの合成 / 上田充 著...

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
ISBN
4-86043-056-5
タイトル
マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現
タイトルよみ
マイクロエレクトロニクス ニ オケル コウブンシ ザイリョウ : ナノ コウゾウ シュウセキ セイギョ ニ ヨル シンキノウ ハツゲン
著者・編者
高分子学会 編
シリーズタイトル
ポリマーフロンティア21シリーズ ; no.22
著者標目
高分子学会 コウブンシ ガッカイ ( 00273047 )典拠
出版事項
東京 : エヌ・ティー・エス
出版年月日等
2004.7
出版年（W3CDTF）
2004