マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現 (ポリマーフロンティア21シリーズ ; no.22)

マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現

(ポリマーフロンティア21シリーズ ; no.22)

Detailed bibliographic record

Contents：: ULSIの将来展望と高分子材料への期待 / 角南英夫著層間絶縁膜用低誘電率ボラジン-ケイ素ポリマーの開発 / 井上正巳著エレクトロニクス用感光性耐熱ポリマーの合成 / 上田充著...

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Material Type: 図書
ISBN: 4-86043-056-5
Title: マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現
Title Transcription: マイクロエレクトロニクスニオケルコウブンシザイリョウ : ナノコウゾウシュウセキセイギョニヨルシンキノウハツゲン
Author/Editor: 高分子学会編
Series Title: ポリマーフロンティア21シリーズ ; no.22
Author Heading: 高分子学会コウブンシガッカイ ( 00273047 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : エヌ・ティー・エス
Publication Date: 2004.7
Publication Date (W3CDTF): 2004
Extent: 227, 6p
Size: 27cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 電子部品デンシブヒン ( 00561429 )Authorities
高分子材料コウブンシザイリョウ ( 00575285 )Authorities
NDC 9th ed.: 549 : Electronic engineering
NDLC: ND354
Target Audience: 一般
Note (Bibliography): 文献あり
Price: 23600円
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND354-H22
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007410774
http://id.ndl.go.jp/bib/000007410774
National Bibliography No. (JPNO): 20654011
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111