Studies on effect of excitation frequency on neutral radicals in very high frequency capacitively coupled plasma

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on effect of excitation frequency on neutral radicals in very high frequency capacitively coupled plasma
• 著者・編者: Takayuki Ohta [著]
• 著者標目: 太田, 貴之 オオタ, タカユキ
• 出版事項: [Takayuki Ohta]
• 出版年月日等: 2004
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: VHF容量結合プラズマ中の中性ラジカルにおける励起周波数の効果に関する研究 VHF ヨウリョウ ケツゴウ プラズマチュウ ノ チュウセイ ラジカル ニ オケル レイキ シュウハスウ ノ コウカ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成16年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2004
• 報告番号: 甲第6268号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-E814
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007425273; http://id.ndl.go.jp/bib/000007425273
• 整理区分コード: 213