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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ニジ イオン シツリョウ エネルギー ブンセキホウ ニ ヨル タンカ ケイソ ノ スパッタリング カテイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 加藤茂樹 [著]
- 著者標目
- 加藤, 茂樹 カトウ, シゲキ
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 北海道大学
- 授与年月日
- 昭和58年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1983
- 報告番号
- 甲第1882号
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