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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ニジ イオン シツリョウ エネルギー ブンセキホウ ニ ヨル タンカ ケイソ ノ スパッタリング カテイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 加藤茂樹 [著]
- Author Heading
- 加藤, 茂樹 カトウ, シゲキ
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 北海道大学
- Date Granted
- 昭和58年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1983
- Dissertation Number
- 甲第1882号