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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 鈴木敬三 [著]
- 著者標目
- 鈴木, 敬三 スズキ, ケイゾウ
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- マイクロ波プラズマエッチング技術の開発とそのエッチング機構に関する研究 マイクロハ プラズマ エッチング ギジュツ ノ カイハツ ト ソノ エッチング キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 昭和58年11月24日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1983
- 報告番号
- 乙第5115号