Development of microwave plasma etching technique and studies on its etching mechanisms

• Material Type: 博士論文
• Title: Development of microwave plasma etching technique and studies on its etching mechanisms
• Author/Editor: 鈴木敬三 [著]
• Author Heading: 鈴木, 敬三 スズキ, ケイゾウ
• Extent: 冊
• Alternative Title: マイクロ波プラズマエッチング技術の開発とそのエッチング機構に関する研究 マイクロハ プラズマ エッチング ギジュツ ノ カイハツ ト ソノ エッチング キコウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 昭和58年11月24日
• Date Granted (W3CDTF): 1983
• Dissertation Number: 乙第5115号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-58-J459
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007479689; http://id.ndl.go.jp/bib/000007479689
• Bibliographic Record Category (NDL): 213