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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マイクロ プラズマ ニ ヨル ナノシリコン ケッショウ ノ サクセイ ト キョクショ コウガク デンシ ブッセイ ノ タンサク
- 著者・編者
- 白井肇, 埼玉大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002-20032004.5
- 出版年（W3CDTF）
- 20022003
- 数量
- 154p
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
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