マイクロプラズマによるナノシリコン結晶の作製と局所光学・電子物性の探索

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Material Type: 図書
Title: マイクロプラズマによるナノシリコン結晶の作製と局所光学・電子物性の探索
Title Transcription: マイクロプラズマニヨルナノシリコンケッショウノサクセイトキョクショコウガクデンシブッセイノタンサク
Author/Editor: 白井肇, 埼玉大学 [著]
Author Heading: 白井, 肇シライ, ハジメ
埼玉大学サイタマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [白井肇]
Publication Date: 2002-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 154p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 大気圧マイクロプラズマ / ナノ結晶 / 可視発光 / シリコンタイキアツマイクロプラズマ / ナノケッショウ / カシハッコウ / シリコン
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550289
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550289
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007550118
http://id.ndl.go.jp/bib/000007550118
Bibliographic Record Category (NDL): 214