表面マイクロマシニングによる微小構造の疲労特性評価に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 表面マイクロマシニングによる微小構造の疲労特性評価に関する研究
• タイトルよみ: ヒョウメン マイクロマシニング ニ ヨル ビショウ コウゾウ ノ ヒロウ トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 辻裕一, 東京電機大学 [著]
• 著者標目: 辻, 裕一 ツジ, ヒロカズ; 東京電機大学 トウキョウ デンキ ダイガク
• 出版事項: [辻裕一]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 108枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロマシニング / 疲労試験 / 微小材料 / 単結晶シリコン / 異方性エッチング / 破壊じん性 マイクロマシニング / ヒロウ シケン / ビショウ ザイリョウ / タンケッショウ シリコン / イカタセイ エッチング / ハカイジンセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550087
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550087
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007550669; http://id.ndl.go.jp/bib/000007550669
• 整理区分コード: 214